7nm 高端 DUV 光刻机仍可出口！ASML：年底前全力向中国客户交付订单

(资料图片仅供参考)

快科技 9 月 1 日消息，ASML 方面已经表示，将在年底前向中国客户交付部分先进芯片制造装备。

据美国媒体报道称，ASML 已经获得荷兰官方的允许，在今年年底前向中国客户出口其部分先进工具。

按照 ASML 的说法，在 2023 年的剩余时间里，ASML 将能继续出货其 NXT:2000i 和更先进的 DUV 型号的产品，这些产品从 9 月 1 日起就受到限制。

至于 2024 年是不是可以继续，ASML 则表示暂时不能确定。

据 ASML 官网提供的信息，该公司目前在售的主流浸没式 DUV 光刻机产品共有三款，分别是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML 官网上关于这一台 TWINSCAN NXT:1980Di 的介绍，其中在分辨率方面，写到是大于等于 38nm（可以支持到 7nm 左右），而这是指一次曝光的分辨率，事实上光刻机是可以进行多次曝光的。

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